光电测试简易探针台的参数与应用

光电测试简易探针台的参数与应用

产品简介

光电测试简易探针台由华测仪器生产，主要用于电学性能测试，该探针台具有操作方便、测试数据准的特点，结构紧凑、性价比高、稳定性强、具备模块化和可扩展性，其主要应用于半导体器件研发、光电子与显示技术以及工业与工程应用，在测试实验、质量控制与可靠性的验证、提供实验依据、优化成本与节约资源。

产品优势

1.满足I-V/C-V，PIV测试，光电测试等

2.可用于6英寸以内样品测试

3.同轴丝杠传动结构，终线性移动

4.可放置于手套箱内使用

5.形状轻巧，操作方便

产品参数

型号：Huace-M4  Huace-M6

台体:

尺寸：4英寸  6英寸

水平旋转：可360°旋转，可微调15°，精度0.1°，带角度锁死装置

X-Y 移动行程：2英寸*3英寸

X-Y 移动精度：10μm

样品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环

针座平台：左右各一个针座平台，至多可放置 6 个探针座

背电极测试：样品台电学悬空，4mm 插孔可接背电极

显微镜:

显微镜类型：单筒显微镜 / 体式显微镜

放大倍率：16X - 200X

移动行程：水平方向绕立柱360°旋转，Z轴50.8mm

光源：外置LED无级调节亮度环形光源

CCD：200 万像素 / 500 万像素 / 1200 万像素

探针座：

X-Y-Z 移动行程：12mm*12mm*12mm

移动精度：10μm / 2μm / 0.7μm / 0.5μm

吸附方式：磁力吸附/真空吸附

探针夹具：

线缆：同轴线 / 三轴线

漏电精度：10pA / 100fA / 10fA

固定探针：弹簧固定 / 管状固定

接头类型：BNC / 三轴 / 香蕉头 / 鳄鱼夹 / 接线端子

探针：

针尖直径：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm / 20μm

材质：钨钢/铍铜

外形尺寸：400mm长*380mm宽*500mm 高

重量：约20kg

可选附件（根据客户要求定制）：

加热台

显示器

转接头

射频测试配件

屏蔽箱

光学平台

镀金卡盘

光电测试配件

应用领域

半导体器件研发

光电子与显示技术

工业与工程应用