华测仪器 光电测试简易探针台的系统配件及其参数
华测仪器 光电测试简易探针台的系统配件及其参数
产品参数
型号：Huace-M4 Huace-M6
台体
尺寸：4英寸 6英寸
水平旋转：可360°旋转，可微调15°，精度0.1°，带角度锁死装置
X-Y 移动行程：2英寸*3英寸
X-Y 移动精度：10μm
样品固定：真空吸附，多圈吸附环
针座平台：左右各一个针座平台，至多可放置 6 个探针座
背电极测试：样品台电学悬空，4mm 插孔可接背电极
显微镜
显微镜类型：单筒显微镜 / 体式显微镜
放大倍率：16X - 200X
移动行程：水平方向绕立柱360°旋转，Z轴50.8mm
光源：外置LED无级调节亮度环形光源
CCD：200 万像素 / 500 万像素 / 1200 万像素
探针座
X-Y-Z 移动行程：12mm*12mm*12mm
移动精度：10μm / 2μm / 0.7μm / 0.5μm
吸附方式：磁力吸附/真空吸附
探针夹具
线缆：同轴线 / 三轴线
漏电精度：10pA / 100fA / 10fA
固定探针：弹簧固定 / 管状固定
接头类型：BNC / 三轴 / 香蕉头 / 鳄鱼夹 / 接线端子
探针
针尖直径：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm / 20μm
材质：钨钢/铍铜
外形尺寸：400mm长*380mm宽*500mm 高
重量：约20kg
可选附件（可按需定制）：
加热台
显示器
转接头
射频测试配件
屏蔽箱
光学平台
镀金卡盘
光电测试配件
应用领域
01 设备可满足 I-V/C-V、PIV 测试、光电测试等多种测试需求，适配 6 英寸以内的样品测试场景。
02 设备采用同轴丝杠传动结构，能够实现终线性移动，同时支持放置于手套箱内使用，适配特殊环境测试需求。
03 该设备整体形状轻巧，操作简单，能够为各类样品测试提供了可靠的测试方案，可应用于半导体器件研究、光电子与显示技术、工业与工程应用等领域
