真空探针台
型号:HuaceZ600-D
精密小巧按需定制集成化设计性能稳定
测试类型： R-T ，C-V， I-V，R-I，Cp-D,ε测试
搭配仪器：源表、高阻计、直流低电阻测试仪、阻抗分析仪、半导体参数分析仪、
腔体:高真空腔体
样品台尺寸:4英寸
样品固定:弹簧压片
观察窗口:6英寸
观察窗口材质：蓝宝石（保证紫外光的透过性）
真空度:2帕
探针臂接口:4个探针臂接口
电学测试接口:3同轴BNC*4、2同轴BNC*2\高压接口10KV*1
辅助接口:真空接口、加热器接口、热电阻接口、液氮接口、保护气接口、表面温度热电阻接口*2
制冷方式:液氮
温度范围:-196℃~600℃
温控精度:±0.1℃
稳定性:-196℃-常温±0.5℃、常温-600℃±0.2℃
外形:650mm长*650mm宽*460mm高
重量:约100千克
光学系统
显微镜类型:单筒显微镜
放大倍率:20X-180X
移动行程: X轴行程100MM Y轴行程50MM Z轴行程50mm
光源:外置LED环形光源
CCD:2800万像素
显示器:10寸LED
探针臂
X-Y-Z移动行程:20mm*20mm*20mm
结构:外置探针臂，真空波纹管结构
移动精度:10微米
探针组件
线缆:同轴线
接头类型:SMA
漏电精度:10fA
固定探针:夹紧固定
频率支持:DC-67GHZ
针尖直径:0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
高压组件
线缆:高压电缆10KV
接头类型:香蕉头
其他组件
真空组件:机械泵
冷源组件:10L液氮罐
