产品详情
简单介绍：
多级抽气式高真空度真空探针台是一种辅助执行机构，测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台(chuck)上，在显微镜配合下，X-Y移动器件，找到需要探测的位置，接下来通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮，控制前部探针(射频或直流探针)，准确扎到被测点，从而使其讯,号线与外部测试机导通，通过测试机可以得到所需要的电性能参数。
详情介绍：
多级抽气式高真空度真空探针台
产品优势
真空-温度协同控制真空系统：分子泵+涡旋泵多级抽气，30分钟内实现10^-6 torr级真空度，支持惰性气体氛围切换；
超宽温域：液氮制冷与电极加热复合控温，控温稳定性±0.1K。
精细测量能力
抗干扰设计：真空屏蔽腔体降低电磁噪声，支持pA级微弱电流与μΩ级电阻测量；
多通道拓展：标配4探针臂（可扩展至6探针臂），支持四线法、射频探针、光电协同测试。
产品参数
腔体样品台尺寸：4英寸
样品固定：弹簧压片
观察窗口：4英寸
真空度：10^-6 torr
探针臂接口：至多6个探针臂接口
其它接口：电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口
制冷方式：制冷机
控制方式：闭循环自动控制
温度范围：4.5K ~ 450K
温度分辨率：0.1K / 0.01K / 0.001K
稳定性：±1K / ±0.1K / ±0.01K
显微镜
X-Y-Z 移动行程：50mm×25mm×13mm
结构：外置探针臂，真空波纹管结构
移动精度：10μm / 1μm
光源：外置LED环形光源 / 同轴光源
CCD：200万像素 / 500万像素 / 1200万像素
探针座
X-Y-Z 移动行程：50mm×25mm×13mm
结构：外置探针臂，真空波纹管结构
移动精度：10μm / 1μm
探针夹具
线缆：同轴线 / 三轴线 / 射频线
漏电精度：10pA / 100fA / 10fA
固定探针：弹簧固定 / 螺丝固定
接头类型：BNC / 三轴 / 香蕉头 / 鳄鱼夹 / 接线端子/ 射频接口
探针
射频支持：DC-67GHZ
针尖直径：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm
材质：钨钢 / 铍铜
真空组件 分子泵组 / 机械泵
冷源组件 50L / 100L 液氮罐 / 液氦罐 / 制冷机
外形重量 730mm×750mm×1265mm（长宽高） 约100kg
防震桌参数
应用领域
1. 研发阶段：材料与器件的极限性能探索在新型半导体材料（如钙钛矿、氧化镓）的研发中，多级抽气式高真空度真空探针台可实时监测材料在真空、高温或低温条件下的载流子迁移率、击穿电压等参数，为材料优化提供数据支撑。
2. 失效分析：准确定位缺陷根源
通过微区探针扫描技术，配合SEM或FIB联用，可对芯片的短路、漏电等故障点进行亚微米级定位，快速锁定制造工艺中的缺陷环节。
3. 量产前验证：提升良率与可靠性
在晶圆出厂前，多级抽气式高真空度真空探针台可对成千上万个微结构进行自动化批量测试（如接触电阻、绝缘性能），结合AI算法实时分析数据，提前筛除次品，降低下游封测成本。
