探针台

产品优势

1.宽温度范围

-190°C至600°C；可编程控温（负温需配液氮制冷系统）。

2.低电噪声

该控制器采用可编程精度的LVDC PID方法来小化电噪声。

3.电气探头与手动定位

手动悬臂探头可以单独定位到样品区域的任何点位置。

4.气密室

密封室允许惰性气体清洗或除霜，以防止凝结和氧化。密封室也可用于控制样品周围的大气，用于湿度研究或恶劣环境测试。具有快速连接气体端口和可更换的橡胶密封件。

5.精度和稳定性

热块内嵌入pt100铂RTD传感器，确保高温精度和稳定性。RTD传感器被校准，以测量样品加热块表面的温度-提供尽可能接近和准确的样品读数。

6.控制

可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK。

产品参数

1. 温控参数

1.1温度范围：-190℃ ~ 600℃（负温需配液氮制冷系统）

1.2传感器/温控方式：100Ω铂RTD / PID控制（含LVDC降噪电源）

1.3加热/制冷速度：+80℃/min （100℃时） -50℃/min （100℃时）

1.4加热/制冷速度：±0.01℃/min

1.5温度分辨率：0.01℃

1.6温度稳定性：±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃）

1.7软件功能：可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线

2. 电学参数

2.1探针：默认为铼钨材质的弯针探针*可选其他种类探针

2.2探针座：杠杆式探针支架，点针力度更大，电接触性更好

2.3点针：手动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置

2.4探针接口：默认为BNC接头，可选三同轴接口

2.5样品台面电位：默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口

2.6霍尔测试：台体为非磁性材料制作，可用于变温霍尔效应测试

3. 光学参数

3.1适用光路：反射光路*另有透射光路型号

3.2窗片：可拆卸与更替的窗片

3.3物镜工作距离：8.5 mm *截面图中WD

3.4上盖窗片观察：窗片范围φ38mm，大视角±60.7° *截面图中θ1

3.5负温下窗片除霜：吹气除霜管路

3.6霍尔测试：台体为非磁性材料制作，可用于变温霍尔效应测试

适用范围

广泛应用于复杂、‌高速器件的电气测量的研发，‌旨在确保质量及可靠性，‌并缩减研发时间和器件制造工艺的成本，主要包括半导体行业、‌光电行业、‌集成电路以及封装的测试。