光电测试简易探针台
产品优势
1.用于I-V/C-V，PIV测试，光电测试等
2.用于于6英寸以内样品测试
3.同轴丝杠传动结构，终线性移动
4.可放置于手套箱内使用
5.形状轻巧，操作方便，经济实惠
参数规格
型号：Huace-M4 Huace-M6
台体
尺寸：4英寸 6英寸
水平旋转：可360°旋转，可微调15°，精度0.1°，带角度锁死装置
X-Y移动行程：2英寸*3英寸
X-Y移动精度：10μm
样品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环
针座平台：左右各一个针座平台，至多可放置6个探针座
背电极测试：样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极
显微镜
显微镜类型：单筒显微镜/体式显微镜
放大倍率：16X - 200X
移动行程：水平方向绕立柱360°旋转，Z轴50.8mm
光源：外置LED无级调节亮度环形光源
CCD：200万像素/ 500万像素/ 1200万像素
探针座
X-Y-Z移动行程：12mm*12mm*12mm
移动精度：10μm / 2μm / 0.7μm / 0.5μm
吸附方式：磁力吸附/真空吸附
探针夹具
线缆：同轴线/三轴线
漏电精度：10pA / 100fA / 10fA
固定探针：弹簧固定/管状固定
接头类型：BNC /三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子
探针
针尖直径：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm / 20μm
材质：钨钢/铍铜
外形尺寸：400mm长*380mm宽*500mm高
重量：约20kg
可选附件（根据客户要求定制）：
加热台
显示器
转接头
射频测试配件
屏蔽箱
光学平台
镀金卡盘
光电测试配件
应用领域
半导体器件研发
光电子与显示技术
工业与工程应用
