蓝宝石窗口真空探针台
产品特点
多种接口
探针臂接口:4个探针臂接口;
电学测试接口:3同轴BNC*4、2同轴BNC*2\高压接口10KV*1;
辅助接口:真空接口、加热器接口、热电阻接口、液氮接口、保护气接口、表面温度热电阻接口*2。
外置探针臂:真空波纹管结构
蓝宝石材质观察窗口:蓝宝石材质的观察窗口能够有效保证紫外光的透光性
多种可搭配仪器:源表、高阻计、直流低电阻测试仪、阻抗分析仪、半导体参数分析仪
参数规格
腔体:高真空腔体
样品台尺寸:4英寸
样品固定:弹簧压片
观察窗口:6英寸
观察窗口材质:蓝宝石(保证紫外光的透光性)
真空度:2Pa
探针臂接口:4个探针臂接口
电学测试接口:3同轴BNC*4、2同轴BNC*2\高压接口10kV*1
辅助接口:真空接口、加热器接口、热电阻接口、液氮接口、保护气接口、表面温度热电阻接口*2
制冷方式:液氮
温度范围:-196℃~600℃
温控精度:±0.1℃
稳定性:-196℃-常温±0.5℃、常温-600℃±0.2℃
产品尺寸:650mm长*650mm宽*460mm高
重量:约100kg
光学系统
显微镜类型:单筒显微镜
放大倍率:20X-180X
移动行程: X轴行程100MM Y轴行程50MM Z轴行程50mm
光源:外置LED环形光源
CCD:2800万像素
显示器:10寸LED
探针臂
X-Y-Z移动行程:20mm*20mm*20mm
结构:外置探针臂,真空波纹管结构
移动精度:10微米
探针组件
线缆:同轴线
接头类型:SMA
漏电精度:10fA
固定探针:夹紧固定
频率支持:DC-67GHZ
针尖直径:0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
高压组件
线缆:高压电缆10kV
接头类型:香蕉头
其他组件
真空组件:机械泵
冷源组件:10L液氮罐
应用领域
R-T,C-V,I-V,R-I,Cp-D,ε测试