高低温真空探针台

产品优势

真空-温度协同控制

真空系统：分子泵+涡旋泵多级抽气，30分钟内实现10^-6 torr级真空度，支持惰性气体氛围切换；

超宽温域：液氮制冷与电极加热复合控温，控温稳定性±0.1K。

测量能力

抗干扰设计：真空屏蔽腔体降低电磁噪声，支持pA级微弱电流与μΩ级电阻测量；

多通道拓展：标配4探针臂（可扩展至6探针臂），支持四线法、射频探针、光电协同测试。

产品参数

腔体

样品台尺寸：2英寸  4英寸

样品固定：弹簧压片

观察窗口：2英寸  4英寸

真空度：10-6 torr

探针臂接口：至多6个探针臂接口

其它接口：电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口

制冷方式：液氮/液氦  、制冷机

控制方式：开循环手动 、闭循环自动控制

温度范围：77K ~ 450K  、4.5K ~ 450K

温度分辨率：0.1K / 0.01K / 0.001K

稳定性：±1K / ±0.1K / ±0.01K

显微镜

X-Y-Z移动行程：50mm×25mm×13mm

结构：外置探针臂，真空波纹管结构

移动精度：10μm / 1μm

光源：外置LED环形光源/同轴光源

CCD：200万像素/ 500万像素/ 1200万像素

探针座

X-Y-Z移动行程：50mm×25mm×13mm

结构：外置探针臂，真空波纹管结构

移动精度：10μm / 1μm

探针夹具

线缆：同轴线/三轴线/射频线

漏电精度：10pA / 100fA / 10fA

固定探针：弹簧固定/螺丝固定

接头类型：BNC /三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子/射频接口

探针

射频支持：DC-67GHZ

针尖直径：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm

材质：钨钢/铍铜

真空组件 分子泵组/机械泵

冷源组件 50L / 100L液氮罐/液氦罐/制冷机

外形重量 730mm×750mm×1265mm（长宽高） 约100kg

防震桌参数

产品型号：气浮隔振防震桌

隔振方式：空气弹簧隔振

固有频率：1.5Hz-2Hz

支撑腿：气浮支撑腿

产品型号：阻尼隔振防震桌

隔振方式：复合材料隔振

固有频率：6Hz-8Hz

支撑腿：阻尼支撑腿

防震桌技术参数

材质：不锈钢/碳钢

平面度：0.05mm/m2

粗糙度：＜0.8μm

孔距：25×25mm

孔径：M6

平台尺寸（长宽）：可定制

平台厚度：50/100/200mm

支撑腿数量：4只/6只

支撑腿高度：800mm±10mm

其他：内芯采用蜂窝支撑、表面密迪纹处理、支撑脚可选脚轮、特殊尺寸可定制

应用领域

1.研发阶段：材料与器件的极限性能探索

在新型半导体材料（如钙钛矿、氧化镓）的研发中，晶圆测试高低温真空探针台可实时监测材料在真空、高温或低温条件下的载流子迁移率、击穿电压等参数，为材料优化提供数据支撑。

2.失效分析：准确定位缺陷根源

通过微区探针扫描技术，配合SEM或FIB联用，可对芯片的短路、漏电等故障点进行亚微米级定位，快速锁定制造工艺中的缺陷环节。

3.量产前验证：提升良率与可靠性

在晶圆出厂前，晶圆测试高低温真空探针台可对成千上万个微结构进行自动化批量测试（如接触电阻、绝缘性能），结合AI算法实时分析数据，提前筛除次品，降低下游封测成本。