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华测仪器 高低温真空探针台
产品介绍
华测仪器 CGO-2/CGO4 复合控温宽温域高低温真空探针台是一种辅助执行机构，测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台(chuck)上，在显微镜配合下，X-Y移动器件，找到需要探测的位置，接下来通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮，控制前部探针(射频或直流探针)，准确扎到被测点，从而使其讯,号线与外部测试机导通，通过测试机可以得到所需要的电性能参数。
产品优势
真空系统：分子泵+涡旋泵多级抽气，30分钟内实现10^-6 torr级真空度，支持惰性气体氛围切换；
超宽温域：液氮制冷与电极加热复合控温，控温稳定性±0.1K。
抗干扰设计：真空障蔽腔体降低电磁噪声，支持皮安级微弱电流与微欧级电阻测量；
多通道拓展：标配4探针臂（可扩展至6探针臂），支持四线法、射频探针、光电协同测试。
应用领域
1. 研发阶段：材料与器件的性能探索
在新型半导体材料（如钙钛矿、氧化镓）的研发中，晶圆测试高低温真空探针台可实时监测材料在真空、高温或低温条件下的载流子迁移率、击穿电压等参数，为材料优化提供数据支撑。
2. 失效分析：准确定位失效根源
通过微区探针扫描技术，配合SEM或FIB联用，可对芯片的短路、漏电等故障点进行亚微米级定位，快速锁定制造工艺中的故障环节。
3. 量产前验证：提升良率与可靠性
在晶圆出厂前，晶圆测试高低温真空探针台可对成千上万个微结构进行自动化批量测试（如接触电阻、绝缘性能），结合AI算法实时分析数据，提前筛除次品，降低下游封测成本。
