产品详情
  • 产品名称:热源薄膜半导体晶圆真空退火炉

  • 产品型号:Huace-1200G
  • 产品厂商:华测仪器
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简单介绍:
热源薄膜半导体晶圆真空退火炉是在真空环境下,对半导体晶圆进行高温热处理的设备,主要用于消除应力、优化材料结构、增加电学性能。华测仪器经过多年研发,推出了采用高准度、高反射率抛物面搭配高性能加热源的解决方案,在升降温过程中仍能保持稳定均匀的温度场,可实现宽范围均热区、高速加热与高速降温。样品由石英管保护,无气氛污染,更适合半导体工艺使用
详情介绍:

热源薄膜半导体晶圆真空退火炉

应用领域

电子材料

 • 半导体用硅化合化的PRA

 • 热源薄膜形成

 • 激活离子注入后

 • 硅化物的形成

陶瓷与无机材料

 • 半导体用硅化合化的PRA

 • 陶瓷基板退火炉

 • 玻璃基板退火炉

 • 陶瓷张力、挠曲试验退火炉

钢铁和金属材料

 • 薄钢板加热过程的数值模拟

 • 炉焊接模拟

 • 高真空热处理

 • 大气气体熔化过程

 • 压力下耐火钢和合金的热循环试验炉

其他

 • 高温拉伸压缩试验炉

 • 分段分区控制炉

 • 温度梯度炉

 • 炉气分析

 • 超导陶瓷退火炉

公司简介

Beijing Hua Ce Testing Instrument Co., Ltd. is a national high-tech enterprise, abbreviated as Hua Ce Instrument.    It is a company engaged in research and development, production and manufacturing.    The company has a functional materials electrical laboratory and an electrical insulation materials electrical laboratory.

The products involve material testing instruments, signal amplification and conditioning, data acquisition and control, comprehensive performance evaluation of sensors, etc.

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