射频直流晶圆微区点测探针台
产品参数
台体参数
水平旋转：可360°旋转，可微调15°，精度0.1°，带角度锁死装置
X-Y移动行程：4英寸*4英寸（卡盘X-Y轴无间隙移动）
X-Y移动精度：1μm
样品固定：不低于4″卡盘，采用中间吸附孔和多圈吸附环固定样品，均单独控制，中间吸附孔下限可以选择250微米
针座平台：U型针座平台，可同时容纳2~4个CB-100探针座同时点测；带有锁定旋钮夹盘，可以附加单独的校准片载台
样品台调节：平台可升降调节适合加装探针卡，便于针卡重定位
温控参数
温度范围：室温~400℃
分辨率：0.1℃
控温精度：0.1℃
温度稳定性：±1℃
公司简介
Beijing Hua Ce Testing Instrument Co., Ltd. is a national high-tech enterprise, abbreviated as Hua Ce Instrument. It is a company engaged in research and development, production and manufacturing. The company has a functional materials electrical laboratory and an electrical insulation materials electrical laboratory.
The products involve material testing instruments, signal amplification and conditioning, data acquisition and control, comprehensive performance evaluation of sensors, etc.
