MEMS温度特性介电温谱测试系统
产品优势
1、Huace-450T高低温冷热台可搭配显微镜/光谱仪使用。其可在 -185℃ ~450℃ (RT~650℃)范围内控温,同时允许进行电学测试、光学观察和样品气体环境控制。也可搭配阻抗分析仪、高阻计、源表等进行相关电参数测量。使用时还可对样品气氛进行控制
2、为了解决这种工频干扰以及电网谐波对测量的影响,采用了直流加热方式进行加热。同时加入滤波等方式以更好的减少对测量过程中的影响,提高测量的准度
3、测量方式采用三电极测量,减少高温环境下测量导线的阻抗影响及内部屏障
4、通过平行板电极的测量原理,在样品上溅射一层导电材质,减少空间及杂散电容的影响,优化样品温度的测量方式及测量电极
参数规格
冷热台基本参数
试验温度:-185~450℃/RT~650℃
温度精度:±0.25℃
升温速度:可调升温速度0.5±~60℃/min(用户可设定)
保护方式:过温、过流、过压
光学参数
适用光路:反射光路
窗片:可拆卸与更替的窗片
物镜工作距离:8.5mm
透光孔:台面默认无通光孔,可增设通光孔以支持透射光路
上盖窗片观察:窗片范围φ38mm,视角±60.7°
负温下窗片除霜:真空
公司介绍
Beijing Hua Ce Testing Instrument Co., Ltd. is a national high-tech enterprise, abbreviated as Hua Ce Instrument. It is a company engaged in research and development, production and manufacturing. The company has a functional materials electrical laboratory and an electrical insulation materials electrical laboratory.
The products involve material testing instruments, signal amplification and conditioning, data acquisition and control, comprehensive performance evaluation of sensors, etc.
