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  • 产品名称：热源薄膜高真空红外晶圆退火炉

  • 产品型号：Huace-800G
  • 产品厂商：华测仪器
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简单介绍：
真空晶圆退火炉是在真空环境下，对半导体晶圆进行高温热处理的设备，主要用于消除应力、优化材料结构、增加电学性能。华测仪器经过多年研发，推出了采用高准度、高反射率抛物面搭配高性能加热源的解决方案，在升降温过程中仍能保持稳定均匀的温度场，可实现宽范围均热区、高速加热与高速降温。样品由石英管保护，无气氛污染，更适合半导体工艺使用
详情介绍：

热源薄膜高真空红外晶圆退火炉

产品优势
高速加热与降温方式
高能量的红外灯和镀金反射方式允许高速加热到高温。同时炉体可配置水冷系统，增设气体降温装置，可实现快速冷却
温度高准度控制
过红外镀金聚焦炉和温度控制器的组合使用，可以准确控制样品的温度(远比普通加温方式)。此外，降温速度和保持在不同温度下可提供高准度
不同环境下的加热与降温
加热/降温可用真空、气氛环境、低温(高纯度性气体 静态或流动)操作简单，使用石英玻璃制成。红外线可传到加热/降温室
参数规格
产品型号：Huace-800G
产品尺寸：6寸晶圆或150 x 150mm产品
温度范围：RT~800°C
升温速度：＜100℃/s可编程（此温度不含载盘的升温速度）
＜25℃/s（SiC载盘）
温度均匀度：±5 °C（≤ 500 ℃） 
±1 %（> 500 ℃）
温度控制重复性：±1 °C
温控方式：PID 温控
公司介绍
Beijing Hua Ce Testing Instrument Co., Ltd. is a national high-tech enterprise, abbreviated as Hua Ce Instrument.    It is a company engaged in research and development, production and manufacturing.    The company has a functional materials electrical laboratory and an electrical insulation materials electrical laboratory.
The products involve material testing instruments, signal amplification and conditioning, data acquisition and control, comprehensive performance evaluation of sensors, etc.

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