无氧化原位电学表征真空探针台
真空-温度协同控制
真空系统：分子泵+涡旋泵多级抽气，30分钟内实现10^-6 torr级真空度，支持惰性气体氛围切换
超宽温域：液氮制冷与电极加热复合控温，控温稳定性±0.1K。
精细测量能力
抗干扰设计：真空障蔽腔体降低电磁噪声，支持pA级（皮安级）微弱电流与μΩ级（微欧级）电阻测量
多通道拓展：标配4探针臂（可扩展至6探针臂），支持四线法、射频探针、光电协同测试
腔体
样品台尺寸：2英寸 4英寸 6英寸
样品固定：弹簧压片
观察窗口：2英寸 4英寸 6英寸
真空度：10⁻⁶torr
显微镜
X-Y-Z移动行程：50mm×25mm×13mm
结构：外置探针臂，真空波纹管结构
移动精度：10μm / 1μm
光源：外置LED环形光源/同轴光源
CCD：200万像素/ 500万像素/ 1200万像素
公司介绍
Beijing Hua Ce Testing Instrument Co., Ltd. is a national high-tech enterprise, reviated as Hua Ce Instrument. It is a company engad in research and development, production and manufacturing. The company has a functional materials electrical laboratory and an electrical insulation materials electrical laboratory.
The products involve material testing instruments, signal amplification and conditioning, data acquisition and control, comprehensive performance evaluation of sensors, etc.
