产品详情
简单介绍：
探针台是一种辅助执行机构，把需要测量的器件放到探针台的载物台上，配合显微镜，X-Y移动器件，找到需要探测的位置；通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮，控制前部探针（射频或直流探针），准确扎到被测点，从而使其讯号线与外部测试机导通，通过测试机可以得到所需要的电性能参数
详情介绍：
半导体探针台 MEMS微器件测试
参数规格台体参数
水平旋转：可360°旋转，可微调15°，精度0.1°，带角度锁死装置X-Y移动行程：4英寸*4英寸（卡盘X-Y轴无间隙移动）
X-Y移动精度：1μm
样品固定：不低于4″卡盘，采用中间吸附孔和多圈吸附环固定样品，均单独控制，中间吸附孔下限可以选择250微米
针座平台：U型针座平台，可同时容纳2~4个CB-100探针座同时点测；带有锁定旋钮夹盘，可以附加单独的校准片载台
样品台调节：平台可升降调节适合加装探针卡，便于针卡重定位
温控参数
温度范围：室温~400℃
分辨率：0.1℃
控温精度：0.1℃
温度稳定性：±1℃
Beijing Hua Ce Testing Instrument Co., Ltd.
