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华测仪器 6英寸蓝宝石窗口真空探针台的产品参数说明
日期：2025-10-31 05:51
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华测仪器 6英寸蓝宝石窗口真空探针台的产品参数说明
产品简介
真空探针台由华测仪器生产，可用于R-T，C-V，I-V，R-I，Cp-D,ε测试，可搭配源表、高阻计、直流低电阻测试仪等不同仪器，以适应多种不同的试验需求，该探针台性能稳定，配备单筒显微镜与保证紫外光透光性的蓝宝石材质观察窗口，外置真空波纹管结构探针臂，具有多种接口，能够为试验人员提供可靠有效的帮助。
产品参数
腔体:高真空腔体
样品台尺寸:4英寸
样品固定:弹簧压片
观察窗口:6英寸
观察窗口材质：蓝宝石（保证紫外光的透光性）
真空度:2Pa
探针...
华测仪器 6英寸蓝宝石窗口真空探针台的产品参数说明
产品简介真空探针台由华测仪器生产，可用于R-T，C-V，I-V，R-I，Cp-D,ε测试，可搭配源表、高阻计、直流低电阻测试仪等不同仪器，以适应多种不同的试验需求，该探针台性能稳定，配备单筒显微镜与保证紫外光透光性的蓝宝石材质观察窗口，外置真空波纹管结构探针臂，具有多种接口，能够为试验人员提供可靠有效的帮助。
产品参数
腔体:高真空腔体
样品台尺寸:4英寸
样品固定:弹簧压片
观察窗口:6英寸
观察窗口材质：蓝宝石（保证紫外光的透光性）
真空度:2Pa
探针臂接口:4个探针臂接口
电学测试接口:3同轴BNC*4、2同轴BNC*2\高压接口10kV*1
辅助接口:真空接口、加热器接口、热电阻接口、液氮接口、保护气接口、表面温度热电阻接口*2
制冷方式:液氮
温度范围:-196℃~600℃
温控精度:±0.1℃
稳定性:-196℃-常温±0.5℃、常温-600℃±0.2℃
产品尺寸:650mm长*650mm宽*460mm高
重量:约100kg
光学系统
显微镜类型:单筒显微镜
放大倍率:20X-180X
移动行程: X轴行程100MM Y轴行程50MM Z轴行程50mm
光源:外置LED环形光源
CCD:2800万像素
显示器:10寸LED
探针臂
X-Y-Z移动行程:20mm*20mm*20mm
结构:外置探针臂，真空波纹管结构
移动精度:10微米
探针组件
线缆:同轴线
接头类型:SMA
漏电精度:10fA
固定探针:夹紧固定
频率支持:DC-67GHZ
针尖直径:0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
高压组件
线缆:高压电缆10kV
接头类型:香蕉头
其他组件
真空组件:机械泵
冷源组件:10L液氮罐
产品特点
01 多种接口
探针臂接口:4个探针臂接口；
电学测试接口:3同轴BNC*4、2同轴BNC*2\高压接口10KV*1；
辅助接口:真空接口、加热器接口、热电阻接口、液氮接口、保护气接口、表面温度热电阻接口*2。
外置探针臂-真空波纹管结构
02 蓝宝石材质观察窗口
蓝宝石材质的观察窗口能够有效保证紫外光的透光性
03 多种可搭配仪器
源表、高阻计、直流低电阻测试仪、阻抗分析仪、半导体参数分析仪
应用领域
R-T，C-V，I-V，R-I，Cp-D,ε测试
