高温电性能测试变温探针台
高温电性能测试变温探针台
产品介绍
探针台是一种辅助执行机构，把需要测量的器件放到探针台的载物台上，配合显微镜，X-Y移动器件，找到需要探测的位置；通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮，控制前部探针（射频或直流探针），准确扎到被测点，从而使其讯号线与外部测试机导通，通过测试机可以得到所需要的电性能参数
产品参数
台体参数
水平旋转：可360°旋转，可微调15°，精度0.1°，带角度锁死装置
X-Y移动行程：4英寸*4英寸（卡盘X-Y轴无间隙移动）
X-Y移动精度：1μm
样品固定：不低于4″卡盘，采用中间吸附孔和多圈吸附环固定样品，均单独控制，中间吸附孔下限可以选择250微米
针座平台：U型针座平台，可同时容纳2~4个CB-100探针座同时点测；带有锁定旋钮夹盘，可以附加单独的校准片载台
样品台调节：平台可升降调节适合加装探针卡，便于针卡重定位
显微镜参数
显微镜环绕立柱旋转式设计，便于快速移动显微镜，显微镜移动范围覆盖样品台；卡盘可做电极引出信号进行双面测试。
总放大倍率：16倍~100倍
变焦：0.8倍~5倍
CCD：带CCD接口和0.4XC-mount；下限分辨率至2μm
镜座：双目观察倾斜45°，双瞳距调节范围：52~75mm，倾斜360°旋转
X,Y,Z轴方向调节范围：＞50.8mm，调节精度小于2μm
工作距离：115mm，加装2倍辅助镜工作距离40mm
光源：带外置LED高亮无极调节亮度环形光源
温控参数
温度范围：室温~400℃
分辨率：0.1℃
控温精度：0.1℃
温度稳定性：±1℃
