高阻高压表在非接触式静电电压表计量校准中的应用

高阻高压表在非接触式静电电压表计量校准中的应用

非接触式静电电压表用于半导体车间、洁净厂房静电风险巡检，依靠感应方式测量物体表面静电电位。仪器使用一段时间后测物、内部电路会发生漂移，需要定期用标准高压源搭配标准高压表完成计量校准。普通高压测试设备输入阻抗不足，在校准工装中会改变标准场强，造成校准误差。Huace-105S 高阻高压表成套配置高阻臂，≥30GΩ 输入阻抗，可达 100kV 量程，具备模拟输出，可作为标准表完成非接触静电电压表的量值比对校准。

一、非接触静电电压表传统校准痛点

标准高压表输入阻抗偏低，改变校准极板实际电位 校准工装中高压极板接标准电压源，如果标准电压表输入阻抗不够，会对极板形成泄放回路，极板实际电压低于源输出设定值，被校静电表得到错误校准系数。

无法观测电压建立瞬态过程，只做稳态点校准 非接触静电表响应时间指标需要观测电压阶跃变化，老式设备只能读取稳态电压，无法评价被校设备动态响应指标。

高压分压部件不成套，分压比无法溯源 自行搭配外购高压分压测物，缺少统一出厂标定，分压系数漂移，整套校准系统量值无法溯源。

缺少波形输出接口，动态响应指标难以判定 无示波器输出端口，阶跃电压下被校表响应波形无法记录，响应时间参数只能依靠主观估算。

无数字通讯，多点位校准数据人工录入工作量大。

二、高输入阻抗标准表，维持校准极板电位稳定

Huace-105S 配备原厂成套高阻臂与底座，输入阻抗≥30GΩ，并联在校准极板上的泄放电流极小，大程度不干扰极板的标准电位，为非接触静电电压表提供真实可靠的电压参考。测量范围 ±50V-100kV，覆盖市面上绝大多数非接触静电电压表的量程；5kV 以上测量准确度 ±1%，满足作为比对标准表的准度需求。

三、高速采集，支持静态校准点与动态响应同步测试

500 读数 / 秒高速采集，除完成各档位稳态校准点比对之外，可捕捉阶跃高压建立全过程；BNC 示波器输出端口可以输出实时电压波形，结合被校静电表输出信号，对比得到被校仪器的响应时间、过冲等动态指标，不止完成静态示值误差校准，还可以评价动态性能。大 LED 屏幕方便校准工位现场读数。

四、成套标定高压组件，保障计量溯源性

主机、高阻臂、底座整套出厂标定，分压参数明确，避免零散外购配件带来的量值失准。RS-232 接口可连接计算机，各个校准档位的标准示值、被校表示值自动记录，生成校准原始记录，减少人工抄写错误。