复合控温高低温真空探针台
产品参数
腔体
样品台尺寸：2英寸 4英寸 6英寸
样品固定：弹簧压片
观察窗口：2英寸 4英寸 6英寸
真空度：10⁻⁶ torr
探针臂接口：至多6个探针臂接口
其它接口：真空接口、光纤接口、冷源接口等
制冷方式：液氮 / 液氦 、制冷机
控制方式：开循环手动 、闭循环自动控制
温度范围：77K ~ 450K 、4.5K ~ 450K
温度分辨率：0.1K / 0.01K / 0.001K
稳定性：±1K / ±0.1K / ±0.01K
显微镜
X-Y-Z 移动行程：50mm×25mm×13mm
结构：外置探针臂，真空波纹管结构
移动精度：10μm / 1μm
光源：外置LED环形光源 / 同轴光源
CCD：200万像素 / 500万像素 / 1200万像素
探针座
X-Y-Z 移动行程：50mm×25mm×13mm
结构：外置探针臂，真空波纹管结构
移动精度：10μm / 1μm
探针夹具
线缆：同轴线 / 三轴线 / 射频线
漏电精度：10pA / 100fA / 10fA
固定探针：弹簧固定 / 螺丝固定
接头类型：BNC / 三轴 / 香蕉头 / 鳄鱼夹 / 接线端子/ 射频接口
探针
射频支持：DC-67GHZ
针尖直径：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm
材质：钨钢 / 铍铜
真空组件 分子泵组 / 机械泵
冷源组件 50L / 100L 液氮罐 / 液氦罐 / 制冷机
外形重量 730mm×750mm×1265mm（长宽高） 约100kg
防震桌参数
产品型号：气浮隔振防震桌
隔振方式：空气弹簧隔振
固有频率：1.5Hz-2Hz
支撑腿：气浮支撑腿
产品型号：阻尼隔振防震桌
隔振方式：复合材料隔振
固有频率：6Hz-8Hz
支撑腿：阻尼支撑腿
