晶圆制程3kV表面静电电位测试仪
产品优势
非接触式测量，避免对被测表面造成干扰或损伤
间距不敏感，探头与表面距离变化不影响测量精度
零控制功能，提供零点控制旋钮，便于偏移归零
易读LED 显示屏，3¾ 位数字显示，分辨率为 1V
电压监测器输出，可提供测量静电电压的低压复现信号，用于外部监测或作为闭环系统反馈信号
探头组件，包含敏感电极和前置放大器，驱动至相同电位以消除电弧放电，配备3 米电缆，支持远程探头放置
反应速度快，1kV 阶跃电压（10% 至 90%）所需时间小于 3 毫秒可灵活安装，支持台式操作或通过可选硬件在标准机架中运行
参数规格
性能规格
测量范围：0~±3000V 直流电或峰值交流电
精度：电压监测器：精度优于±0.05%
优于满量程的±0.1%（以电压监测器为基准）
响应速度：1kV 阶跃变化（从 10% 到 90%）所需时间 < 3ms
稳定性：随时间漂移低于100ppm / 小时，非累积性
随温度漂移小于100ppm/℃
电压显示
显示方式：3¾ 位 LED 显示屏
显示范围：0~±3000V分
辨率：1V
零点偏移：±1 计数
采样率：2.5 次 / 秒
公司介绍
Beijing Hua Ce Testing Instrument Co., Ltd. is a national high-tech enterprise, reviated as Hua Ce Instrument. It is a company engad in research and development, production and manufacturing. The company has a functional materials electrical laboratory and an electrical insulation materials electrical laboratory.
The products involve material testing instruments, signal amplification and conditioning, data acquisition and control, comprehensive performance evaluation of sensors, etc.
