产品详情
简单介绍：
高低温真空探针台华测仪器研发生产，晶圆测试高低温真空探针台是一种辅助执行机构。
详情介绍：
高低温真空探针台 半导体微结构
源头工厂支持定制，更多详情欢迎咨询
产品优势真空-温度协同控制
真空系统：分子泵+涡旋泵多级抽气，30分钟内实现10^-6 torr级真空度，支持惰性气体氛围切换
超宽温域：液氮制冷与电极加热复合控温，控温稳定性±0.1K。
精细测量能力
抗干扰设计：真空障蔽腔体降低电磁噪声，支持pA级（皮安级）微弱电流与μΩ级（微欧级）电阻测量
多通道拓展：标配4探针臂（可扩展至6探针臂），支持四线法、射频探针、光电协同测试
腔体
制冷方式：液氮/液氦 、制冷机
控制方式：开循环手动 、闭循环自动控制
温度范围：77K ~ 450K 、4.5K ~ 450K
温度分辨率：0.1K / 0.01K / 0.001K
稳定性：±1K / ±0.1K / ±0.01K
探针座
X-Y-Z移动行程：50mm×25mm×13mm
结构：外置探针臂，真空波纹管结构
移动精度：10μm / 1μm
Beijing Hua Ce Testing Instrument Co., Ltd.
